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（3）速度、角速度测量 速度、角速度测量是驱动器反馈控制中必不可少的环节，有时也利用测位移传感器测量速度及检测单位采样时间位移量，然后用F/V转换器变成模拟电压，但这种方法有其局限性，在低速时，存在着不稳定的危险；而高速时，只能获得较低的测量精度。
最通用的速度、角速度传感器是测速发电机或成为转速表的传感器、比率发电机。恒定磁场中的线圈发生位移，线圈两端的感应电压E与线圈内交链磁通φ的变化率成正比，输出电压为 E＝-dφ/dt
根据这个原理，测量角速度的测速发电机，可按其构造分为直流测速发电机、交流测速发电机和感应式交流测速发电机。
（4）加速度测量 随着机器人的高速比、高精度化，由机械运动部分刚性不足所引起的振动问题开始提到日程上来了。为了解决振动问题，有时在机器人的运动手臂等位置安装加速度传感器，测量振动加速度，并把它反馈到驱动器上。加速度传感器分为：
1）应变片加速度传感器：应变片加速度传感器是由一个板簧支承重锤所构成的振动系统。在板簧两面分别贴两个应变片，应变片受振动产生应变，其电阻值的变化通过电桥电路的输出电压被检测出来。
2）伺服加速度传感器：伺服加速度传感器中振动系统重锤位移变换成成正比的电流，把电流反馈到恒定磁场中的线圈，使重锤返回到原来的零位移状态。根据 F=ma=ki
这样，根据检测的电流入可以求出加速度。
3）压电感应加速度传感器：压电感应加速度传感器是利用具有压电效应的物质，将加速度转换为电压，即
U＝Q/ACP＝dijF/CP
a＝UCP/dijFm
式中 CP——压电元件电容；
dij——压电常数；
U——电压；
m——质量。
（5）其他内部传感器除以上介绍的常用内部传感器外，还有一些根据机器人不同要求而安装的不同功能的内部传感器，如用于倾斜角测量的液体式倾斜角传感器、电解液式倾斜角传感器、垂直振子式倾斜角传感器、用于方位角测量的陀螺仪和地磁传感器。这些传感器有待于进一步完善，更好地用于机器人上。
